气源柜式特种气体配置应用是在输入过程中的主要技术特点、质量标准及工作原理是什么？

气源柜

产品简介：设备用于放置工艺气体源瓶。

产品详细描述：

1、柜内可放置多个气源瓶；

2、配有相应气体的控制气路板；

3、管路上配有阀门及接头，有国产件及进口件两种配置；

4、柜体密封性好，顶部装有排风口，保证安全。

气源柜式特种气体配置应用是在输入过程中，对气压调解，流量控制，气体纯度保 ，人体安全保障等必备的关键性设备。不同生产工艺所使用的气体不同，气源柜功能也各有特异。

气瓶柜/气瓶架采用国际通行的质量标准及工作原理，保证高纯易燃易爆腐蚀有毒气体安全地为相应的设备提供工艺气体。  

功能：正常工艺供气、换瓶的抽空回充、工艺结束的排空回充及正常使用的工作状态指示、异常报警（如负压异常、泄露、烟雾火等等）及相应的安全关联响应等。排空一般采用的是文丘里原理（根据客户要求可采用真空泵排空方式等）。  

气瓶柜装有安全防爆玻璃，气路管件均采用进口优质的管道（EP级SWAGELOK自动轨道焊接等）、阀门、VCR接口均采用SWAGELOK、 PARK及APTECH ，泄漏检测、延误火报警均采用优质品牌。  

主要技术特点  

◆按瓶数分类：单瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架）  

◆按气体分类：气瓶柜（易燃易爆腐蚀有毒高纯气体）、气瓶架（高纯气体，如高纯氧气、氩气等）  

◆完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警）、烟雾、火报警等  

◆控制方式：“触摸屏+PLC”全自动控制（含手动控制）  

◆气路管件：全部进口，管道为EP级（CARDINAL/SANDVIK）、 阀门焊接头为 SWAGELOK或相当、减压阀为PARK或相当、全部VCR接口及自动轨道焊接  

◆气瓶柜留有排气口，并具有负压检测  

◆气路设计合理完善，工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能  

◆气瓶柜内装有气瓶称重装置，可即时观察气瓶重量

气源柜作为等离子刻蚀、化学气相沉积、金属溅射、实验室检测设备等的工艺气供气气源装置，适合于输送高纯、有毒、易燃易爆、具有一般腐蚀性的介质。根据不同使用要求可配置为手动、自动控制方式，及高沸点介质加温装置。 贮气罐 适用于贮存具有高纯、有毒、易燃易爆、一般腐蚀性的半导体工艺气、混合气、标样气等。