首先，通过通过过滤器去除灰尘等固体杂质，进入压缩机压缩，然后通过分子筛净化器去除水蒸气、二氧化碳等杂质气体。
在这里，分子筛可以通过氮、氧等较小的分子筛选分子。
然后冷却降压。
当温度降至-170℃左右时，空气开始部分液化进入蒸馏塔，并根据空气中不同气体的沸点进行分馏。
液氧沸点高于液氮沸点，比液氮更容易气化。
经过多步分馏，可获得99%以上的纯氧，同时获得氮气和稀有气体的原料。
这种方法工艺复杂。
如果需要低纯度的氧气，可以用分子筛吸附法分离空气，制成氧气。
特定分子筛对氮的吸附能力大于氧。
当空气通过分子筛床时，流出的气体含氧量高，多次吸附后可获得含氧量70~80%的气体。
该方法在室温下操作，循环周期短，自动化方便。
此外，如需高纯度氧气，可采用电解水法生产，成本高，仅适用于小型生产。
从空气中分离出来的氧气通常储存在工业、医疗或其他方面的天蓝色钢瓶中。
特殊气体的分类方法有很多种。
例如，根据气体本身的化学成分，可分为七类：硅系统、砷系统、磷系统、硼系统、金属氢化物、卤化物和金属烃化物。
根据集成电路的作用，可分为七类：掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、蚀刻气体、化学气相沉积（CVD）气体和载荷稀释气体。
同时，上述分类存在交叉。
例如，四氯化硅（SiCl4）不仅属于硅系统气体，也属于外延气体，也用于化学气相沉积（CVD）。
特种气体的主要生产工艺包括气体合成、气体纯化、气体混合、气瓶处理、气体充装、气体分析和检测。
气体合成是通过化学反应在特定压力、温度、催化剂等条件下获得的粗气体产品。
气体纯化是通过蒸馏和吸附将粗产品精制成更高纯度的产品。
