工业制氮机是工业领域专用高纯度制氮机，是按变压吸附技术设计、制造的氮气发生设备。以空气为原料，以优质碳分子筛为吸附剂，运用变压吸附原理(PSA)，利用充满微孔的分子筛，对空气进行选择性吸附，以达到氧氮分离的目的。

   气体纯化装置制氮机产品纯度可在较大范围内根据用户需要进行调节，操作维护方便、运行成本较低、装置适应性较强等特点，故而越来越得到中、小型氮气用户的欢迎。 制氮装置需要在通风良好，矿尘较小，无积水、无滴水的专用峒室内，或者在较为洁净的巷道内使用。

    氨分解后气体经13x分子筛床吸附可除去其中的水分，其露点达-60℃，残氨小于5ppm即为精制的氢氮混合气，这样可以实现半导体工业上所不希望存在的有害的非金属元素。如：氯和氧。

   气体纯化装置分解后的氢、氮混合气利用变温吸附再生的原理，经13x分子筛床吸附其中的水份及残氨，并保持其性质不变，从而达到干燥纯化的目的，而13x分子筛经加热，用纯化气冲洗、解吸被分子筛吸附的水分、残氨，从而达到再生重复使用的目的。