大连气体纯化装置采用复式流程，一组工作，同时另一组再生、待用。两组交替使用，设备可以长期连续运行。  复式流程，每一组由除氧器、冷却水、干燥器串联组成，可以一组工作，同时另一组可以进行再生处理，相互交替工作和再生，以保证设备连续运行。

气体增压和原料气体肆大部分组成，系统主机部分含主机箱、主控板、高精度质量流量控制器与气路，计算机操控平台部分含操控计算机、计算机自动配气系统软件和专用控制卡，气体增压部分含配气台、气体增压泵、真空泵、静音式空气压缩机、精密过滤子系统等组成，原料气体部分含钢瓶装标准原料气体、稀释用高纯氮气或零空气（由自然空气经过精密过滤形成或氮氧合成）等。

对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。