气体纯化（包括脱硫、脱二氧化碳）解决方案

    通过对国内外脱硫技术以及国内电力行业引进脱硫工艺试点厂情况的分析研究，目前脱硫方法一般可划分为燃烧前脱硫、燃烧中脱硫和燃烧后脱硫等3类。　

    其中燃烧后脱硫，又称烟气脱硫（Flue gas desulfurization，简称FGD），在FGD技术中，气源柜按脱硫剂的种类划分，可分为以下五种方法：以CaCO3（石灰石）为基础的钙法，以MgO为基础的镁法，以Na2SO3为基础的钠法，以NH3为基础的氨法，以有机碱为基础的有机碱法。世界上普遍使用的商业化技术是钙法，所占比例在90%以上。

    按吸收剂及脱硫产物在脱硫过程中的干湿状态又可将脱硫技术分为湿法、干法和半干（半湿）法。湿法FGD技术是用含有吸收剂的溶液或浆液在湿状态下脱硫和处理脱硫产物，该法具有脱硫反应速度快、设备简单、脱硫效率高等优点，但普遍存在腐蚀严重、运行维护费用高及易造成二次污染等问题。　　

    半干法FGD技术是指脱硫剂在干燥状态下脱硫、在湿状态下再生（如水洗活性炭再生流程），或者在湿状态下脱硫、在干状态下处理脱硫产物（如喷雾干燥法）的烟气脱硫技术。特别是在湿状态下脱硫、在干状态下处理脱硫产物的半干法，以其既有湿法脱硫反应速度快、脱硫效率高的优点，又有干法无污水废酸排出、脱硫后产物易于处理的优势而受到人们广泛的关注。按脱硫产物的用途，可分为抛弃法和回收法两种。

    蒸汽加热器是用过热水蒸气作为热源，因此在使用过程中易发生泄漏而污染加热介质，所以在制造方面要求严格，设备的造价也比较高；使用蒸汽进行加热，其价格比电要便宜，但冬天要进行防冻处理。从操作上看，电加热不会因蒸汽泄漏而影响吸附器再生的问题，所以设备造价较低。

    配气装置一般在正常生产中，使用蒸汽加热器进行加热。当蒸汽压力不足或分子筛需要进行活化时，才投入电加热器，以提高加热介质的温度。

1)无论哪种加热方式，都要注意吸附器再生过程中的加热和冷吹的温度曲线变化。温度曲线的异常变化说明：

①再生热源(蒸汽或电)不足或气量不足；

②吸附器负荷(尤其是吸附水量)有的变化，应查明原因；

2)注意吸附器再生时的压力变化。压力升高说明吸附器阻力增大或吸附器的进出口阀没关严，应查明原因；

3)注意加热时间的变化。加热时间的延长应查明是热源问题还是吸附器的负荷增大的影响；

气体纯化设备的发展和应用趋势

    对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。

    在洁净室建设规模和技术水平上，我国与先进国家差距更大。日本清水建设公司一家，1982年到1987年期间承建的洁净室面积达71．8万平方米，而我国目前一年承建的洁净室总面积还不到10万平方米，但八五期间有较大发展，1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模更大，1998年统计已达188．5万平方米。在洁净工程技术水平上，80年代末期，国外已大量建成0．1微米级的超净室，1987年日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，NIT原木则建成了四个1000平方米控制0．1微米尘埃的千级厂房，换气次数高达300次／分。