用于半导体工业的特种气体,又称电子气,在半导体器件生产过程中由气源柜控制与输送。近几年来,随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气市场需求明显增长,对于气源柜的需求越来越大。如何在保证气源的使用安全的前提下,提高生产效率,方便客户操作,是特种气体气源柜设计的关键。 论文根据特种气体的性质,使用环境,进行气源柜的研发,重点研究了半导体行业特种气体气源柜的总体方案设计,包括整体产品的设计构思,总体布局,气体防泄漏设计,惰性气体保护设计,确定了整机的结构构成；增加了低压连续吹扫系统,选用自动焊接工艺进行管线连接,加强密封保护措施,在安全性以及外观性方面同时改善,使其适应市场的需求；运用气体流量计算,使气源输出气体更精准；针对气体特殊性质,进行真空测试和压力测试和可靠性试验与分析,解决了该产品难点,并最终达到设计要求,成为国内半导体行业中的领先产品。

产品简介： 

    气源柜/气瓶架采用国际通行的质量标准及工作原理，保证高纯易燃易爆腐蚀有毒气体安全地为相应的设备提供工艺气体。 

功能：正常工艺供气、换瓶的抽空回充、工艺结束的排空回充及正常使用的工作状态指示、异常报警（如负压异常、泄露、烟雾火等等）及相应的安全关联响应等。排空一般采用的是文丘里原理（根据客户要求可采用真空泵排空方式等）。 

    气瓶柜装有安全防爆玻璃，气路管件均采用进口优质的管道（EP级SWAGELOK自动轨道焊接等）、阀门、VCR接口均采用SWAGELOK、 PARK及APTECH ，泄漏检测、延误火报警均采用优质品牌。

主要技术特点 

◆按瓶数分类：单瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架） 

◆按气体分类：气源柜（易燃易爆腐蚀有毒高纯气体）、气瓶架（高纯气体，如高纯氧气、氩气等） 

◆完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警）、烟雾、火报警等 

◆控制方式：“触摸屏+PLC”全自动控制（含手动控制） 

◆气路管件：全部进口，管道为EP级（CARDINAL/SANDVIK）、 阀门焊接头为 SWAGELOK或相当、减压阀为PARK或相当、全部VCR接口及自动轨道焊接 

◆气瓶柜留有排气口，并具有负压检测 

◆气路设计合理完善，工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能 

◆气瓶柜内装有气瓶称重装置，可即时观察气瓶重量