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配气装置的主要工作原理

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配气装置的主要工作原理

发布日期:2015-04-24 00:00 来源:http://hongrenwenhua.com 点击:

    配气装置主要是针对实验室及各种环境下所需要的模拟气体成分。依据比例自行设置混合输出的装置。主要核心部件为质量流量控制器,利用其高精度、高准确性的特点,精确控制各个气体组成成分的输入量,经由专业设计及生产的混气腔室后输出。

特气自动配气(稀释)装置?

使用气体:硅烷、硼烷、磷烷、氯气等特殊气体?工作压差:(0.1~0.3)Mpa?最高使用压力:1Mpa?

单元控制精度:±1%S.P(设定点)?工作温度:?-20℃~70℃?单元流量:2SCCM??~?10SLM?

主要技术特性

流量范围:(样气+稀释气)(0-5000)ml/min (任选)

浓度范围:通过选择组分气体的含量便可配制出10-8-百分含量的任何标准气体,随意可调

流量精度(重复性):<0.5%

转换浓度响应时间:<60s

配气不确定度:<1.5%

预热时间:<30min

使用环境温度:0~40℃(最佳温度25±5℃)


尺寸:450×400×180mm

电源:220VAC    50/60Hz


相关标签:配气柜厂家

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